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Optino 波前測(cè)試技術(shù)與干涉儀技術(shù)對(duì)比
Optino 波前測(cè)試系統(tǒng)相對(duì)于干涉儀的優(yōu)點(diǎn)
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?干涉儀 |
?Optino 波前系統(tǒng) |
| 1 |
購買、運(yùn)行、維護(hù)費(fèi)用高 |
非常便宜 |
| 2 |
系統(tǒng)體積大，需要大型光學(xué)平臺(tái) |
結(jié)構(gòu)緊湊，普通桌子就可以 |
| 3 |
需要昂貴的隔振平臺(tái) |
非常耐用，無需隔振，普通桌子就可以，即使重?fù)糇雷右膊粫?huì)影響測(cè)試結(jié)果或儀器性能 |
| 4 |
需要潔凈室 |
普通干凈的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境足夠了 |
| 5 |
需要控制測(cè)試現(xiàn)場(chǎng)的氣流 |
可以在緊靠打磨機(jī)器工作現(xiàn)場(chǎng)使用 |
| 6 |
需要激光光源 |
普通光源或激光均可 |
| 7 |
由于激光波長范圍有限，只能工作在有限的幾個(gè)波長 |
任何波長均可工作，從193nm到1700nm，軟件功能不受波長和配置的影響 |
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僅限于測(cè)試平面、球面及淺度非球面測(cè)試 |
可以測(cè)試深度非球面元件（球形失常值達(dá)50λ） |
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不能測(cè)試非規(guī)則形狀元件 |
可以測(cè)試非規(guī)則元件，如柱面鏡 |
| 10 |
動(dòng)態(tài)范圍受CCD探測(cè)器上干涉條紋限制， |
方法本身具有高動(dòng)態(tài)特性 |
Optino? vs Zygo Interferometer
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通過使用Zygo GPI xp HR干涉儀和Spot-Optics公司的Optino 波前測(cè)試系統(tǒng)對(duì)一個(gè)硬盤上小面積(7mm)區(qū)域，進(jìn)行測(cè)試對(duì)比。
右圖白色圓圈位置的區(qū)域即為測(cè)試區(qū)域，是一個(gè)平整的表面，測(cè)試的波長為632nm,下圖為主要測(cè)試得到的參數(shù)對(duì)比：
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?去除了傾斜(Tilt), Piston and?散焦 (defocus)影響后的表面3D形貌圖（ Zygo ）
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?去除了傾斜和散焦的3D表面形貌圖(Optino) |
Optino? vs Veeco Interferometer
- A small area (9mm) of a flat mirror was tested using a high?
resolution Veeco interferometer.
- The same area was tested with our standard instrument Optino/Sensoft mounting a cooled CCD camera.
-Both the tests were done at 632.8nm
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| Veeco |
Optino |
更多信息請(qǐng)瀏覽：? Accuracy of SpotOptics wavefront sensors.pdf
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解決方案
